超纯水设备新闻资讯

2026 年国内超纯水成套设备市场规模持续走高，市场规模突破 128 亿元，同比增长 9.3%。半导体行业占采购比例 42.6%，是超纯水设备*大下游领域，光伏、锂电、生物医药合计贡献超 40% 市场需求。随着芯片制程向 3nm、2nm 迭代，晶圆清洗对 18.25 兆超纯水的杂质控制要求达到 ppt 级别，倒逼整套超纯水系统升级迭代。

国产设备高端市场占比快速提升，高端机型国产品牌份额上涨至 34.7%，对比进口设备，全生命周期运维成本优势明显，国产化替代趋势进一步加快。

新闻二｜技术趋势：模块化、智能化、低能耗成为行业主流

今年超纯水设备技术方向明显转向模块化集成、远程智能运维、低能耗 EDI 工艺、多参数在线水质监控。客户采购不再只看设备报价，更加看重系统长期稳定性、耗材成本、运维便捷度与水回收率。 不少水处理厂家实现设备云端数据回传，客户可远程查看电阻率、TOC、流量等运行数据，智能运维逐步成为项目竞标重要加分项。RO+EDI 依旧是半导体超纯水主流工艺路线，重点把控金属离子、总有机碳指标，保障 18.25MΩ・cm 稳定产水。

新闻三｜项目市场：上半年纯水设备中标火热，工业项目集中落地

2026 上半年公开招标市场，纯水 / 超纯水设备中标总金额超 3550 万元，国产设备中标占比持续走高，半导体、新能源工厂新建、技改项目集中释放订单。 各地晶圆、硅片制造企业扩建，带动大吨位超纯水项目落地，万吨级 / 年产能超纯水成套项目不断交付，同时配套提高水回用率，兼顾生产用水与环保排放要求。

新闻四｜产业热点：国产替代加速，打破高端水处理进口依赖

过去高端超纯水系统长期依赖海外，近两年国内厂家突破 EDI、抛光混床、精密过滤等核心工艺，可稳定产出 18.25 兆超纯水，满足晶圆清洗、电子制造严苛用水标准。 对比进口设备，国产方案交付周期短、备件供货快、售后响应效率高，越来越多半导体、面板企业选择国产成套超纯水解决方案。